当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子 先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
然后部分废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为 无味气体。采用 C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。
UV光氧净化装置是一种去除气体及恶臭气体的一种装置。
